氮化硼坩埚

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热解氮化硼坩埚(PBN坩埚)

我们可以提供的热解氮化硼（PBN）产品有应用于砷化镓（GaAs）单晶的MBE坩埚、LEC坩埚、VGF坩埚、MOCVD设备用绝缘隔热板、合成用舟皿及热解氮化硼涂层产品等。

我们可以提供的热解氮化硼产品如下：

Ø  半导体单晶及III－V族化合物合成用的坩埚、基座

Ø  原位合成GaAs、InP、GaP单晶的LEC系列坩埚。

Ø  分子束外延用的MBE系列坩埚。

Ø  VGF、VB法系列坩埚。

Ø  PBN/PG复合加热器涂层。

Ø  石墨加热器绝缘涂层。

Ø  高温绝缘流体喷嘴。

Ø  MOCVD绝缘板。

Ø  异形坩埚及异形石墨件涂层。

Ø  晶片退火工艺用复合加热器

类 型

类 别

最 大 尺 寸

坩埚类

LEC

14 inch

VGF

6 inch

MBE

4 inch

舟形坩埚

3 inch

板材类

圆形板材

14 inch

绝缘板(MOCVD)

■主要参数:

性能

单位

数值

晶格常数

µm

 a:2.504×10-10

 c:6.692×10-10

表观密度

g/cm3

2.07－2.19(板材)

2.09－2.19(坩锅)

氦透过率

cm3/s

1×10－10

显微硬度(Knoop)(ab平面)

N/mm2

691.88

体积电阻系数

Ω·cm

3.11×1011

抗张强度 (力|| “C”)

153.86

抗弯强度

N/mm2

243.63

N/mm2

197.76

弹性模量

N/mm2

235690

热传导率

W/m·k

“a”方向 “c”方向

(200℃)

W/m·k

60 2.60

(900℃)

W/m·k

43.70 2.80

介电强度(室温)

KV/mm

56